1. Nagy merevség-/-tömeg arány a nagy-sebességű dinamika érdekében
A litográfiában és a ragasztásban az alkatrészeknek nagy sebességgel, nulla késleltetéssel kell mozogniuk. Az Advanced Ceramics rendkívüli merevséget biztosít (High Young's Modulus), miközben lényegesen könnyebb, mint az acél. Ez csökkenti a tehetetlenséget, ami gyorsabb gyorsítást és lassulást tesz lehetővé anélkül, hogy veszélyeztetné a pozicionálási pontosságot az ostyakezelő rendszerekben.
2. Páratlan hővezető képesség és stabilitás
A félvezető folyamatok helyi hőt termelnek. Az olyan anyagok, mint a szilícium-karbid, kiváló hővezető képességgel rendelkeznek, és gyorsan elvezetik a hőt, hogy megakadályozzák a helyi deformációt. Ez biztosítja, hogy a kerámia vákuumtokmányok és az ostyatokmányok tökéletesen síkban maradjanak, megtartva a fókuszsíkot a kritikus UV-expozíciós lépések során.
3. Kopásállóság és kémiai tehetetlenség
A kerámia majdnem olyan kemény, mint a gyémánt. Ez a kopásállóság biztosítja, hogy a mozgó alkatrészek hihetetlenül hosszú élettartamúak legyenek részecskék képződése nélkül. Ezenkívül kémiai tehetetlenségük miatt kompatibilisek a durva maratógázokkal és az elülső -félvezető-feldolgozáshoz használt tisztítószerekkel.
Kerámia anyagok összehasonlítása
| Ingatlan | Alumínium-oxid (Al2O3) | Szilícium-karbid (SiC) |
| Vickers keménység | 1500 HV | 2500+ HV |
| Rugalmas modulus | 350 GPa | 450 GPa |
| Thermal Cond. | 30 W/m·K | 150+ W/m·K |
GYIK: Megválaszolt kulcskérdések
Miért használjunk SiC-t alumínium-oxid helyett? A SiC nagyobb merevséggel és jobb hővezető képességgel rendelkezik, bár költségesebb.
A kerámia alkatrészek törékenyek? Bár törékenyek, nyomószilárdságuk hatalmas, így ideálisak precíziós terhelésekhez.
Milyen iparágak használják ezeket a kerámiákat? Elsősorban a félvezető-, repülőgép- és lézervágó iparban.
Tud egyedi kerámia formákat készíteni? Igen, egyedi OEM kerámia megmunkálást kínálunk összetett mechanikai alkatrészekhez.
Mi a maximális méret? Szegmentált ragasztással akár 1000 mm-es vagy annál nagyobb méretű,{0}}kerámia szerkezeti elemeket is tudunk gyártani.
A kerámiák különleges tisztítást igényelnek? Nagyon ellenállóak a vegyszerekkel szemben, így nagyon könnyen tisztíthatók tisztatéri használatra.