Az optikai és félvezető precíziós vizsgálóberendezések nagymértékben támaszkodnak a stabil optikai utakra, a gyenge elektromos jelvételre és a nagy-pontos rácshelyzet-visszacsatolásra. A berendezés belsejében nagyszámú optikai lencse, CCD/CMOS képérzékelő, lézeres interferometrikus komponens és mágneses érzékeny érzékelő található. Ha a szerkezeti elemek mágnesesek, szórt mágneses mezők lépnek fel, amelyek megzavarják a jelfelvételt, képtorzulást és mérési eltolódást okoznak, és még az ostya mikro{3}}szerkezetvizsgálati eredményeinek értelmezését is befolyásolják. A közönséges fémgerendák általában mágnesesek. Bár egyes ötvözetek lemágnesezve vannak, hajlamosak ismét maradék mágnesességet generálni a hosszú távú váltakozó mozgás és rezgés hatására. UNPARALLELED Group nem-mágneses precíziós gránitgerendákat fejleszt. Kihasználva a kő természetes nem{10}}mágneses tulajdonságait, valamint az exkluzív ultra-precíziós megmunkálási technológiát, ezek a gerendák megfelelnek a nem-mágnesesség és a stabil mozgási referencia kettős követelményének az optikai és félvezető-ellenőrző berendezéseknél.
1. Természetes nem-mágneses szubsztrát: Távolítsa el a szórt mágneses tér interferenciát a forrásból
A legtöbb gránit kevés ferromágneses ásványt tartalmaz, és nem mágneseződik el, és nem tartja meg a maradék mágnesességet a nem-mágneses gránit nyersdarabok speciális átvizsgálása után. Ellentétben a fém alkatrészekkel, mágneses tere nem sodródik rezgés vagy hőmérsékletváltozás hatására. Az olyan forgatókönyvekben, mint a félvezető lapkák vizsgálata és az optikai interferometria, mágneses érzékeny alkatrészeket építenek be a berendezésbe. Még a gyenge szórt mágneses mezők is okozhatnak lézerút eltérést és ugrásokat a rácsos leolvasásban, ami rontja a mikron és szub{4}}mikron mérések ismételhetőségét. Az UNPARALLELED mágneses mintavételezési vizsgálatot végez, amikor a nyers kő megérkezik a gyárba, hogy kiküszöbölje a ferromágneses ásványokkal kevert üregeket, így biztosítva, hogy az egész sugár nem-mágneses maradjon. A késztermékek nem igényelnek további lemágnesezési kezelést, és nincs kockázata annak, hogy az ütközés hatására ismét mágnesessé váljanak, tiszta mágneses környezetet biztosítva az optikai utak és az érzékelőrendszerek számára.
2. Több-fizikai szinergikus teljesítmény: Stabil mozgásreferencia a nem-mágnesességen túl
A nem{0}}mágnesesség csak alapvető követelmény. Az optikai és félvezető ellenőrző berendezések szigorú követelményeket támasztanak a gerendák hőstabilitására, dinamikus merevségére és rezgéscsillapítására vonatkozóan is. Az alacsony hőtágulási együtthatónak köszönhetően a nem-mágneses precíziós gránitgerendák minimális méretváltozáson mennek keresztül, amelyet a motorok és az optikai alkatrészek hőmérséklet-emelkedése okoz hosszú folyamatos működés során, hatékonyan megakadályozva a szerelési referencia hőeltolódását a vezetősínek és a lineáris mérlegek esetében. A nagymértékű anyagcsillapítás elnyeli a diák nagy sebességű{5}}viszonzása során keletkező rezgéseket, és megakadályozza, hogy a rezgés átterjedjen az optikai lencsékre, és elmosódjon a kép. A tervezési fázisban az UNPARALLELED dinamikus és termikus szimulációt végez, hogy optimalizálja a nyaláb keresztmetszetét- az úttartomány, a csúszó terhelés és a vizsgálóberendezés gyorsulása szerint. Kiegyensúlyozza a nagy merevséget és az önsúlyt,{9}}hogy csökkentse a lineáris motorok terhelését és a mozgási tehetetlenség okozta dinamikus elhajlást. Monolit vagy precíziósan összeszerelt szerkezetek választhatók a kis-utazási nagypontosságú-optikai vizsgálathoz vagy a nagy-formátumú szeletleolvasó berendezésekhez.
3. Tiszta precíziós megmunkálás és nem-mágneses beágyazási folyamat az ellenőrző modul-összeállításhoz
Az optikai és félvezető tiszta kamrák belső tere nagy tisztaságot igényel. Eközben a gerendáknak sok optikai alapot, lineáris skálát és érzékelőtartót kell hordozniuk. A hagyományos fém beágyazott kötőelemek mágneses kockázatot hordoznak magukban. Az UNPARALLELED nem-mágneses beágyazott hüvelyeket alkalmaz a nem-mágneses gránitgerendákhoz, nem-mágneses rögzítőelemekkel és alacsony-illékonyságú speciális ragasztóval. Az összeállítás összes alkatrésze nem-mágneses marad, és nem hoz létre helyi mágneses teret. A gerendák referenciafelületeit állandó-hőmérsékletű vibrációval{12}}szigetelt műhelyben nano{10}}lapolják, hogy szigorúan szabályozzák az egyenességet, a párhuzamosságot és a síkságot. A megmunkálás után a gerendák pormentes{14}}tisztításon mennek keresztül, hogy eltávolítsák a felfedő port és törmeléket, és elkerüljék az ostyákon és az optikai lencséken lévő részecskék szennyeződését. A furatok elrendezését feszültségszimuláció optimalizálja, hogy megakadályozza a sűrűn elrendezett furatok okozta feszültségkoncentrációt és a csavarhúzás során a kő helyi deformációját. Az élek passziválva vannak, hogy csökkentsék a por felhalmozódását, a holt sarkokban, alkalmas tiszta kamrákba történő beépítésre.
4. Munkakörülmények adaptálása több optikai és félvezető ellenőrző berendezéshez
A nem-mágneses precíziós gránit gerendák ideálisak mágneses-érzékeny érzékelőkkel, lézeres interferométerekkel és nagy-felbontású képalkotással felszerelt vizsgálóberendezésekhez. A tipikus alkalmazások közé tartoznak a lapka felületi hibavizsgáló eszközei, az optikai profilozók, a lézeres konfokális letapogató rendszerek, az üveghordozó megjelenésének vizsgálata és a fotomaszkos precíziós metrológia. Az ilyen berendezések alapvető igénye nem a nehéz vágás, hanem a stabil, nagy pontosságú{5}}szkennelés és képalkotás. A sugarak nem-mágneses jellemzői védik az optikai utakat és az érzékelőket; a nagy méretstabilitás biztosítja, hogy a mérési adatok ne sodródjanak el a hosszú-idejű szkennelés során; a magas csillapítás elnyomja a vibrációt, így garantálja a tiszta képminőséget. Az alumíniumötvözetből és öntöttvas gerendákhoz képest a nem{10}}mágneses gránitgerendáknak nincs mágnesesedési kockázata. A pontosságuk lassan csökken a hosszú távú{12}szolgáltatás során, és csökkenti a kalibráció leállási idejét. Az UNPARALLELED támogatja a személyre szabott fejlesztést az ügyfél kamramérete, az optikai útvonalak elrendezése és a rögzítési interfészek, az útválasztási nyílások, elkerülő lyukak és az optikai alkatrészek szerelési referenciapontjai szerint.
5. Teljes körű-gyári ellenőrzés a szállítási minőség garantálása érdekében
A hagyományos geometriai pontossági és merevségi terhelési tesztek mellett a késztermékeket mágnesesség szempontjából is megvizsgálják, hogy megbizonyosodjanak arról, hogy a teljes sugár, beleértve a beágyazott részeket is, nem{0}}mágneses. A geometriai precíziós ellenőrzés CNAS nyomon követhető metrológiai berendezéseket alkalmaz. Teljes dokumentumok, beleértve a tisztasági nyilvántartásokat, az anyagvizsgálati jelentéseket és a terhelési alakváltozási adatokat, rendelkezésre állnak. A szállítás közbeni szennyeződés elkerülése érdekében pormentes -csomagolást alkalmaztak. A hosszú-utazású modelleknél alacsony-illékonyságú ragasztót használnak az összeszerelt gerendákhoz, és az illesztéseket alacsony-feszültségű zónákban helyezik el anélkül, hogy zavarnák a mag optikai és mérési referenciaértékeit.
Következtetés
Az optikai és félvezető precíziós vizsgálóberendezésekben a szórt mágneses mezők közvetlenül megzavarják az optikai képalkotást és a gyenge jelek mérését, amit a hagyományos fémsugarakkal aligha lehet teljesen elkerülni. A PÉNZÜLETETLEN, nem-mágneses precíziós gránitgerendák természetesen nem-mágneses kőfelületeket alkalmaznak, kombinálva nem-mágneses beágyazással, ultra-precíziós lefedéssel és tiszta feldolgozási technológiával. Egyszerre érnek el nem-mágneses környezetet, alacsony termikus deformációt, nagy merevséget, rezgéscsillapítást és hosszú távú méretstabilitást. Ezek a gerendák tökéletesen alkalmasak ostyaellenőrző és optikai metrológiai berendezésekhez, tiszta és stabil mozgáshordozót biztosítanak az optikai rendszereknek és a mágneses{9}}érzékeny mérőegységeknek.