Gránit levegő-csapágyalkatrészek: alapvető alkalmazási előnyök az ultra-nagy-sebességű mozgási szakaszokhoz

Az UNPARALLELED minden lég-csapágy-speciális gránit alkatrésze saját fejlesztésű UNPARALLELED® fekete, nagy-sűrűségű gránitot használ, amelynek nyersanyagsűrűsége 3100 kg/m³. Sűrű és egységes kristályszerkezetének köszönhetően a hagyományos márvány-, öntöttvas- és alumíniumötvözet alapokhoz képest sokkal jobb, átfogó fizikai tulajdonságokkal rendelkezik, és tökéletesen alkalmazkodik a 2 m/s-os nagy-sebességű működési feltételekhez és a 3G nagy gyorsulásához.
Az ultra-alacsony hőtágulás kiküszöböli a nagy-sebességű hőtermelés által okozott nullponteltolást
A gránit hőtágulási együtthatója csak egy{0}}harmada az acélénak. A fokozatok nagy-sebességű oda-vissza mozgása és a lineáris motorok folyamatos hőkibocsátása által generált helyi hőmérséklet-emelkedés nem deformálja a levegő-vezetőfelületeket és a teherviselő-alapfelületeket. A nagy sebességű-szkennelés és a 24-órás folyamatos gyártósor működése során a síkság és a párhuzamosság mentes marad a hőeltolódástól, így stabil, nanométer szintű ismétlődő pozicionálási pontosságot biztosít.
A természetes nagy csillapítás elnyomja a nagy{0}}sebességű rezonanciát és vibrációt
A sűrű kristályszerkezet kiváló rezgéscsillapító képességgel rendelkezik, amely képes elnyelni a nagy-frekvenciás rezgési energia több mint 90%-át. Az öngerjesztett vibráció, amelyet a gyakori indítás-leállás és a levegő-fokozatok nagy sebességű viszonzása, valamint a műhely vákuumszivattyúiból, manipulátoraiból és környező lézeres berendezéseiből származó külső vibrációs interferenciák generálnak, gyorsan csillapíthatók gránittalpokkal, elkerülve a nagy{{0}optikai mozgási pályát.
Nem-mágneses, tiszta és korrózióálló-, alkalmas félvezető tisztaterekhez
Ez a természetes nem{0}}fémes anyag teljesen nem-mágneses, és nem szívja fel a fémport és a vágási törmeléket. Ellenáll a savak, lúgok, fotoreziszt oldószerek és elektrolitok korróziójának. A felületet speciális por-mentes polírozással kezelik, amely nem tartalmaz fémion-kicsapódást és nyomokban illékony anyagokat, és megfelel a SEMI félvezető tisztasági szabványainak. Kiküszöböli az ostyák és az optikai lencsék szennyeződésének kockázatát, és olyan nagy-tisztaságú gyártási forgatókönyveket alkalmaz, mint a forgácsvizsgálat és a vákuumbevonat.
Ultra-Nagy keménység hosszú-tartós kopásállóságot biztosít, nincs pontosságromlás a hosszú-távú, nagy{3}}sebességű működés után
6-7 Mohs-keménységével ellenáll a kopásnak és az ütéseknek. A lég-csapágyvezetők alapfelületei nem viselik el a kopást a hosszú-távú, nagy sebességű-lebegő csúszás után, így nincs szükség gyakori-újracsiszolásra és kalibrálásra, élettartamuk meghaladja a 30 évet. Ez drasztikusan csökkenti a későbbi karbantartási és mérőeszközök cseréjének költségeit a csúcsminőségű-berendezésgyártók számára. Minden gránit nyersanyagot exkluzív, 20 000 ㎡ méretű raktárunkba szállítunk a hosszan tartó természetes öregedés érdekében, hogy a kő belső maradékfeszültségét teljesen feloldjuk, elkerülve az alkatrészek lassú deformálódását és a kiegyensúlyozatlan lég-csapágyréseket a hosszú távú-nagy{15}}sebességű terhelések során.
II. Integrált lég-csapágyszerkezeti folyamatok az ultra-nagy-sebességű dinamikus mozgási követelményekhez igazítva
A hagyományos hasított fém{0}}levegős csapágyalapok gyenge merevségtől, az illesztési hézagoknál szivárognak, és nagy sebességű dinamikus terhelések hatására könnyen deformálódnak. Az UNPARALLELED személyre szabott integrált gránit lég-alkatrészei az ultra-nagy-sebességű fokozatokhoz beágyazott nyílásokkal, zárt lég-vezetőkkel, T-alakú rögzítőnyílásokkal és nehéz-terhelési pozicionálási pontokkal. Több optimalizált szerkezeti folyamat gondoskodik a nagy sebességű{10}}munkakörülményekről.
Integrált monolit fröccsöntés, nagy merevség, hogy ellenálljon a nagy{0}}sebességű ütéseknek
A gyár rendkívül -nagy alkatrészfeldolgozó kapacitását kihasználva integrált gránit lég-csapágyalapokat gyártunk, amelyek egy-darabtömege akár 100 tonna, teljes hossza pedig 20 méter. Szegmentált toldásmentes, az általános merevség jelentősen megnövekedett. Ha a 3G nagy gyorsulásnak van kitéve üres-terhelés mellett és vészhelyzeti nagysebességű-leállásból eredő ütközőterhelésnek, az alap nem hajlik el és nem deformálódik. A lég-csapágyhézag következetesen fenntartja az 5–10 μm-es stabil légréteget, kiküszöbölve a dadogást és a pályaeltolódást a nagy sebességű{14}}mozgás során.
Precíziós köszörülési folyamat beépített{0}}fojtószelep-nyílásokhoz
A levegős-fojtószelep-nyílások közvetlenül a gránit vezetőtestbe vannak bedolgozva. A nyílás helyzetét, a nyílást és a fojtószelep mélységét nanométeres-szintű köszörülés szabályozza az egyenletes és stabil légáramlás biztosítása érdekében. A külső fojtószelepes szerkezetekhez képest a légáramlás nem szivárog nagy-sebességű mozgás során, a lebegő erő egyenletesen oszlik el, a mozgás zökkenőmentesen, csúszásmentesen működik, a sebesség ingadozása jobb, mint 0,01%, 1nm-es mozgási felbontás és 50nm-es ismétlési pozicionálási pontosság érhető el.
Nehéz-levegőterhelés-csapágytámasz elrendezés a nagy-sebességű dinamikus terhelések egyenletes elosztásához
A végeselem-feszültség-szimulációt a színpad mozgása, a maximális működési sebesség és a gyorsulás alapján hajtják végre, hogy optimalizálják az alsó lég{0}}támaszpontok elrendezését. A nagy sebességű reciprok által generált dinamikus terhelések egyenletesen oszlanak el a teljes gránit alapon, megakadályozva a helyi feszültségkoncentrációt, amely a vezetőfelületek összeomlásához és a légcsapágyak meghibásodásához vezet. A testreszabható T-hornyok és menetes rögzítőfuratok a lineáris motorok, lineáris kódolók, vákuum-adszorpciós modulok és hat-tengelyes finom-beállító mechanizmusok összeszerelési követelményeinek megfelelően vannak fenntartva.
III. Teljes-lánc precíziós gyártás és ellenőrzés a nagy sebességű-szakaszok szállítási pontosságának garantálása érdekében
UNPARALLELED ragaszkodik az alapfilozófiához: "Precíziós gyártás nem valósítható meg precíz mérés nélkül". A komplett ultra-precíziós megmunkáló rendszer, az állandó-hőmérsékletű por-gyártási környezet és a világszínvonalú metrológiai ellenőrző
A csoport két, 200 000 ㎡ összterületű, szabványosított gyártóüzemet üzemeltet, amelyek egy 10 000 ㎡ félvezető-minőségű, állandó-hőmérsékletű, állandó-páratartalmú, por-mentes precíziós megmunkálóműhellyel vannak felszerelve. A műhelypadlót egy darabban katonai -minőségű ultra{10}}kemény betonnal öntik, amelynek vastagsága legalább 1000 mm. Rezgésszigetelő árkok (500 mm széles és 2000 mm mély) veszik körül a műhelyt, és csendes felső darurendszerekkel párosulnak, hogy teljes mértékben elszigeteljék a vibrációs interferenciát és a hőmérséklet/páratartalom ingadozásait a megmunkálás során, és garantálják a konzisztens és stabil köszörülési pontosságot a levegős{15}}vezető alapfelületeken.
A vállalat négy, Tajvan Nantongból beszerzett, extra nagyméretű CNC-csiszolóval van felszerelve, amelyek mindegyike több mint 500 000 USD értékben, a légcsapágyakkal-tartó alkatrészek durva alakításához. A több mint 30 éves ipari tapasztalattal rendelkező veterán köszörülési mesterek manuálisan készítik el a lég-csapágyvezetőket és a teherhordó-alapfelületeket, mikron-szintű finom tapintási érzékelésre támaszkodva a nanométeres síkságú precíziós megmunkálás elérése érdekében. Ezeket a kézműveseket a félvezető és optikai berendezések ügyfelei világszerte „járó elektronikus szintezőnek” nevezik.
A szállítás előtti teljes-dimenziós precíziós ellenőrzés a világ-vezető nemzetközi metrológiai műszereit alkalmazza, beleértve a német Mahr 0,5 μm-es mérőórákat, a Mitutoyo érdességmérőket, a svájci WYLER elektronikus szintezőket és a brit Renishaw lézeres interferométereket. A teljes körű ellenőrzések kiterjednek a laposságra, a merőlegességre, a párhuzamosságra, a fojtószelep-nyílások pozicionálási pontosságára és a lég-csapágyrések egyenletességére. Minden mérőműszer rendelkezik a Jinan Metrológiai Intézet és a Shandong Metrológiai Intézet által kiadott hivatalos kalibrációs tanúsítvánnyal, és minden mért érték teljes mértékben visszavezethető a Kínai Nemzeti Metrológiai Intézethez. A termékek megmunkálási adatai kompatibilisek a globális főbb metrológiai specifikációkkal, beleértve a DIN, ASME, JIS, GB, BS, GOST és EIE szabványokat. A tengerentúli berendezésgyártók nem igényelnek másodlagos kalibrálást, alkalmazkodnak a nagy sebességű mozgóberendezések teljes kutatás-fejlesztéséhez, tömeggyártásához és ellenőrzéséhez világszerte.
A súrlódás kettős előnye-szabadlevegős csapágy + nagy-stabilitású gránit: nincs tapadás-csúszás vagy késés a nagy-sebességű mozgásnál
A sűrített levegő mikron-szintű légfóliát képez az érintésmentes lebegő alátámasztás érdekében, amelynek súrlódási tényezője akár 0,0005 is, teljesen kiküszöbölve a mechanikus vezetők tapadási-csúszási hatását. A nagy sebességgel és nagy gyorsulással járó oda-vissza mozgás pályái nagy megismételhetőséget biztosítanak, a dinamikus pozicionálási hiba szub-mikron tartományon belül szabályozható, alkalmas nagy-sebességű szeletleolvasáshoz, lézeres közvetlen íráshoz és nagy-pontos interferometrikus mérési forgatókönyvekhez.
Erős rezgésszigetelés + ultra-alacsony termikus deformáció: a vizsgálati adatok nulla eltolódása folyamatos nagy sebességű-működés mellett
A gránit felületek kettős rezgéscsillapító és hőmérsékleti stabilitást biztosítanak. A szakaszok megszakítás nélkül, nagy sebességgel futhatnak 24 órán keresztül. Hosszú folyamatos szkennelési és kötegellenőrzési munkakörülmények között a dátumok eltolás-mentesek, képtorzítás-mentesek és ellenőrzési adatok ugrása-mentesek maradnak, drasztikusan javítva a folyamatos gyártósor kihasználtságát és a termékhozamot.
Tiszta, nem{0}}mágneses és korrózióálló-, alkalmazkodott a félvezető tisztaterek zord környezetéhez
A mágnesezettségre és fémion-kiválásra hajlamos fémalapoktól eltérően a gránit levegő{0}}alkatrészek megfelelnek a félvezetők tisztaságának ellenőrzésére vonatkozó szabványoknak. Komplikált műhelykörülményekhez illeszkednek, pormentes környezettel és illékony vegyi oldószerekkel, például fotolitográfiával, ostyacsomagolással, precíziós akkumulátor-ellenőrzéssel és perovszkit vákuumbevonattal, anélkül, hogy az ostyák és az optikai alkatrészek szennyeződésének veszélye fennállna.
Hosszú élettartam és alacsony karbantartási költség, csökkenti a csúcsminőségű-felszerelések teljes életciklus-költségét
A súrlódásmentes-levegős-csapágyszerkezet a kopásálló-gránit alapfelületekkel párosítva közel nulla kopásveszteséget eredményez, kiküszöbölve a gyakori szétszerelést,-újracsiszolást és kalibrálást. Az aljzat rozsdaálló-és kúszás-deformációtól mentes, így stabil precizitást tart fenn a hosszú-szolgáltatás után is. Ez nagymértékben csökkenti a berendezések karbantartása és a pótalkatrészek cseréje miatti állásidejét, csökkenti a berendezésgyártók és a végfelhasználói gyárak átfogó működési költségeit-.
V. Széles körű alkalmazási forgatókönyvek a csúcsminőségű-berendezésekben és a globális piaci elismerésben
A több magszilárdságot, köztük a prémium anyagtulajdonságokat, az integrált lég-csapágyszerkezetet, a nanométeres megmunkálási pontosságot, a por-mentes rezgésszigetelést és a globális metrológiai kompatibilitást, a PÁRMŰKÖDÉS gránit-levegős csapágyalkatrészek világszerte standard benchmark alkatrészekké váltak az ultra-}nagy mozgási kategóriákban, minden kategóriájában, széles körben alkalmazva{4} csúcsminőségű-precíziós berendezések:
Félvezető-ellenőrző berendezés: Nagy{0}}sebességű lapkahiba-szkennelési fokozatok, AOI optikai vizsgálóplatformok, XY lineáris motoros nagysebességű-platformok X-csomagolási hibák észleléséhez;
Optikai és lézeres feldolgozó berendezések: Közvetlen lézeres írógépek, optikai interferométerek, nagy{0}}sebességű pozicionáló fokozatok a nagy-precíziós lencsevizsgálathoz;
Új, precíziós energiaellenőrző berendezés: Nagy{0}}sebességű ellenőrző platformok lítiumelem-leválasztóhoz, nagy sebességű vákuum-mozgásmodulok perovszkit vékonyréteg-bevonathoz;
Metrológiai laboratóriumok és űrrepülési precíziós mérés: Nanométeres pozicionálási kalibrációs platformok nemzeti metrológiai intézetek számára, nagy sebességű{0}}precíziós mérőberendezések apró repülőgép-alkatrészekhez.
Jelenleg PÁRHÁZATLAN gránit lég{0}}alkatrészeket exportálnak a precíziós berendezések piacaira szerte a világon, mélyen támogatva a Fortune 500-as vállalatokat és a vezető globális precíziós mozgásvezérlő gyártókat, köztük a GE-t, az Apple-t, a Samsungot, a Bosch-t, a THK-t, a HIWIN-t, a MISUMI-t és az Akribist. A nagy sebességű, precíziós referenciatechnológia terén hosszú távú-műszaki együttműködést tartunk fenn a vezető kutatóintézetekkel és a kormányzati metrológiai hatóságokkal: Szingapúri Nemzeti Egyetemmel, Nanyang Műszaki Egyetemmel, Stockholmi Egyetemmel, Európa, Amerika és Oroszország metrológiai intézeteivel, valamint a Zhejiang Egyetemmel, a Xi'an Fin Jiaotong Egyetemmel, a Kínai Tudományos Akadémiával és a Mechanlicics-Changicsun Institute of Opticics-vel. Gránit levegős{8}}alkatrészeink nagysebességű dinamikus stabilitása, por-pormentessége és globális metrológiai kompatibilitása a precíziós berendezések globális iparától tekintélyes elismerést kapott.
Iparági következtetés
A félvezetőgyártás, az optikai mikrogyártás és az új energia-precíziós vizsgálati iparágak folyamatosan a nagyobb működési sebesség, nagyobb gyorsulás és nanométeres{0}}szintű dinamikus pozicionálási pontosság felé törekednek. Az ultra-nagy sebességű-mozgási szakaszokhoz használható referenciahordozók teljesítménye közvetlenül meghatározza a berendezés dinamikus pontosságát, a gyártósor hozamát és a hosszú távú -megbízhatóságot. A UN PARALLELED Group következetesen fenntartja a „Nyitottság, Innováció, Integritás, Egység” alapvető vállalati értékeit, és gyakorolja a „Merj átvenni a vezetést; Merj újítani” vállalati szellemét. Folyamatosan iteráljuk a nagy-sűrűségű gránit módosítási folyamatait, a beágyazott levegő-csapágyazott fojtószelepek integrált szerkezeti tervezését, a félvezetők por-mentes felületkezelését, a három-dimenziós levegős{11}}alkatrészek nanométeres-szintű csiszolását, a teljes folyamatellenőrzést{12}{101}{1} gránit lég{14}}alkatrészek, amelyek új,-generációs nagysebességű szeletvizsgálathoz, lézeres feldolgozáshoz és új energiabevonó berendezésekhez lettek igazítva. A jövőben a csoport tovább mélyíti elrendezését az ultra-precíziós mozgási referenciaértékek támogató sávjában. Teljeskörű precíziós biztosítási megoldásokat kínálunk a nagy-sebességű mozgási fokozatok számára a globális csúcskategóriás{21}}precíziós berendezések gyártói számára szabványosított, ultra-tiszta, nagy vibráció-csillapítással, dinamikusan stabil nagy sebességgel és globálisan univerzális gránit levegővel{24}}a precíziós palackok globális gyártási próbája révén. nagy sebességű dinamikus precizitás, és folyamatosan haladunk a hosszú távú fejlesztési víziónk felé,{26}}hogy „világszínvonalú{27}}vállakozássá váljunk, amelyet a közvélemény megbízható és szeretett”.