A precíziós levegős{0}}lebegő platformok érintésmentes légfóliák révén érik el a súrlódásmentes mozgást, és széles körben alkalmazzák az élvonalbeli területeken, mint például az optikai ellenőrzés, a félvezető lapka feldolgozás, a nagy-precíziós litográfia és a mikron-szintű méretkalibráció. A levegőben lebegő rendszerek-egyenességének, síkságának és ismétlődő pozicionálási pontosságának hosszú távú stabilitása nem csak a mozgó alkatrészektől, például a légcsapágyaktól és a meghajtómoduloktól függ, hanem alapvetően a platform alapfelületének fizikai tulajdonságaitól is. Sok berendezésgyártó megkísérel öntöttvasból, alumíniumötvözetből vagy ásványi öntvényekből-lebegő alapot építeni, de gyakran találkoznak termikus deformációkkal, rezgésrezonanciával és hosszú távú-referencia-sodródással. Emiatt a nagy{11}}sűrűségű gránit a csúcsminőségű{12}}precíziós levegős{13}}úszó platformok elismert preferált aljzatává vált.
Az ultra-precíziós, levegős-lebegő mozgásos rendszerekben az aljzat sokkal több, mint egy egyszerű teherhordó szerkezet-; alapvető mércéül szolgál a mikron- és nanométeres{3}}szintű pontosság fenntartásához. A mikron{5}}szintű egyenletes légfóliákkal működő, levegőben-lebegő platformok rendkívül szigorú követelményeket támasztanak az aljzat deformációjának szabályozásával, rezgésállóságával és szerkezeti stabilitásával kapcsolatban. Az anyag enyhe deformációja, mikro-rezgés vagy referenciaeltérés közvetlenül megbontja a légréteg egyensúlyát, pozicionálási hibákat, működési remegést és hibás ismétlési pontosságot okozva. A fém és a közönséges kőfelületek nem felelnek meg a csúcsminőségű{10}}levegős{11}}lebegő berendezések szigorú működési feltételeinek. Ezzel szemben a speciálisan kiválasztott és feldolgozott, nagy sűrűségű{13}}gránit tökéletesen megfelel az ultra-precíziós működési követelményeknek, és a csúcskategóriás ipari berendezések alapvető alapanyagává vált.
Folyamatos működés közben a motorok által termelt hő, valamint a környezeti hőmérséklet- és páratartalom-ingadozások átadódnak a platform aljzatára. Az alumíniumötvözet és az öntöttvas nagy hőtágulási együtthatóval rendelkezik, és kisebb hőmérséklet-változások hatására finoman deformálódik, ami megzavarja a légréteg egyenletességét, mozgási remegéshez és a pozicionálási pontosság csökkenéséhez vezet. Saját fejlesztésű UNPARALLELED® nagy-sűrűségű fekete gránitunk-kompakt és egységes belső kristályszerkezettel büszkélkedhet, rendkívül alacsony hőtágulási együtthatóval, minimálisra csökkentve a termikus-deformációt. Kiváló belső csillapítási teljesítménye gyorsan elnyeli a berendezés működéséből és a külső környezetből származó vibrációt, hatékonyan elkerülve a rezonancia interferenciát.
Egyes beszállítók közönséges márványt használnak nyersanyagként{0}}lebegő platformokhoz. A laza szerkezetű és természetes repedésekkel rendelkező közönséges márvány fokozatosan feloldja a belső feszültséget hosszú távú nyomás és ciklikus terhelés hatására, ami idővel romlik a platform síksága és kiegyensúlyozatlan levegő{3}}lebegések. A levegőben{5}}lebegő platformjainkhoz használt összes gránitanyag hosszan tartó természetes és mesterséges öregedési kezelésen esik át a belső feszültség teljes feloldása érdekében. A stabil sűrűségű és a kúszás deformációval szembeni ellenállása révén az anyag tartósan megőrzi a platform eredeti geometriai pontosságát, és nagymértékben csökkenti a későbbi kalibrálási és karbantartási gyakoriságot.
A levegő-lebegőplatformos megmunkálás rendkívül speciális kézművességet, igényes ultra-simaságot, valamint finom levegőlyukak, levegőellátó áramkörök, menetes furatok és tömítőhornyok precíziós megmunkálását igényel. A puha közönséges kő hajlamos a peremrepedésre és repedésre a fúrás és hornyolás során. A nagy-sűrűségű gránit kiegyensúlyozott keménységet, szerkezeti merevséget és megmunkálhatóságot biztosít, lehetővé téve az összetett és szabálytalan szerkezetek stabil befejezését. A 200 000 ㎡ gyártási bázis és a 10 000 osztályú, állandó-hőmérsékletű, állandó-páratartalmú, pormentes{12}}műhely, professzionális rezgéscsillapító-infrastruktúra segítségével elvégezzük a nagyméretű-levegős{15}}platformhibák integrált csiszolását. Minden eljárás megfelel a globális szabványoknak, beleértve a DIN, az ASME és a GB szabványokat, és nanométeres{17}}szintű síkságot ér el, hogy megfeleljen a csúcsminőségű{18}}levegős{19}}rendszerek szigorú légrés-állandósági követelményeinek.
A precíziós ellenőrzés a szállítás előtt elengedhetetlen. A Németországból, Svájcból és Japánból származó, teljes mértékben importált, nagy pontosságú{1} mérőműszerekkel felszerelt kalibráló készülékek metrológiai intézetek által kiállított érvényes tanúsítvánnyal rendelkeznek, teljes mértékben nyomon követhető vizsgálati adatokkal. Minden kész gránit levegős-lebegő platformot átfogó síkosság, egyenesség és párhuzamosság vizsgálatnak vetnek alá. Támogatjuk a hosszú távú stabilitási öregedési teszteket is állandó hőmérsékleti körülmények között, hogy értékeljük a precíziós teljesítményt a hosszú távú-szolgáltatás során.
Az ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001 és CE tanúsítványok, valamint több mint 20, az EU-ban, az Egyesült Államokban és Délkelet-Ázsiában bejegyzett nemzetközi védjegy és szabadalom mellett hosszú távú műszaki együttműködést tartunk fenn optikai kutatóintézetekkel, félvezetőgyártó vállalkozásokkal és vezető tengerentúli egyetemekkel. Személyre szabott gránit{6}}lebegő platformjainkat széles körben szállítjuk Európába, Amerikába és Délkelet-Ázsiába exportált automata ellenőrző berendezések, lapkafeldolgozó rendszerek és lézerkalibrációs eszközök gyártóinak. Nem-szabványos, testreszabott megoldásokat kínálunk az integrált levegős-lebegő asztalokhoz, mozgatható lábakhoz és portálgerendákhoz, beleértve a beágyazott menetes karmantyúkat, a hornyolást, a fúrást és az egy{10}}részes ultra-precíziós kikészítést az ügyfél 3D-s rajzai szerint.