A félvezető-ellenőrző munkahelyek rendkívül érzékenyek a mágneses interferenciára és a közepes korrózióra. Apró mágneses zavarok vagy rozsdatörmelék a lapka pozicionálási eltérését és az optikai lencse szennyeződését idézhetik elő, ami közvetlenül csökkenti a forgácsvizsgálati eredményt. A hagyományos fémtalpoknak az ilyen alkalmazásokhoz vannak hátrányai. Ezzel szemben a gránit szerkezeti elemek a nem -mágneses és rozsdamentes- belső fizikai és kémiai tulajdonságokat hasznosítják, hogy megfeleljenek a félvezető tisztaterek szigorú működési követelményeinek, így ezek az ostyaellenőrzés, vizuális átvilágítás és precíziós metrológiai berendezések előnyben részesített referenciahordozói.
A félvezető-ellenőrző állomások széles körben fel vannak szerelve lineáris motorokkal, rácsérzékelőkkel és elektromágneses meghajtó modulokkal. A fém alapok, mint például az acél és az öntöttvas mágnesesen vezetőképesek. A motorok működése közben általában mágneses hiszterézis és szórt mágneses mezők lépnek fel. A gyenge mágneses mezők megzavarhatják a rácsok leolvasását, sőt interferálhatnak a mikroáramkörökkel és a lapkákon lévő mikro-komponensekkel, ami pozicionálási eltolódást eredményezhet. A gránit természetes ásványi aggregátum, fémes vezető vagy mágneses fázisok nélkül, teljesen nem{5}}mágneses. Nem indukál extra mágneses teret, amikor a motorok folyamatosan működnek, alapvetően kiküszöbölve a mágneses zavarok által okozott mérési hibákat, és egyenletes mikron{7}szintű pozicionálást biztosít.
A tisztaterekben általában hűtőfolyadék-emulziók, tisztító oldószerek és nedves levegő található. A fém alkatrészek elektrokémiai korróziót szenvednek el, ha hosszabb ideig vannak kitéve ezeknek a közegeknek, és rozsdaport termelnek. A levegőbe kerülés után a rozsdarészecskék könnyen megtapadnak az ostya felületén, az optikai lencséken és az érzékelési érzékelőkön, szennyezik az ostyákat és nagy mennyiségű hibás terméket generálnak. A gránitnak nincsenek kémiai feltételei az oxidációhoz és a rozsdásodáshoz. Még ha sokáig is ki van téve fröccsenő hűtőfolyadéknak vagy állandó magas páratartalomnak tiszta helyiségekben, akkor sem keletkezik rozsdafoltok vagy fémpor. Megfelel a tiszta műhelyekben a részecske-ellenőrzési követelményeknek, és csökkenti a szennyeződések okozta minőségi kockázatokat.
A nem -mágneses és rozsdamentes- tulajdonságokon túlmenően a félvezető-ellenőrző berendezések szigorú követelményeket támasztanak az alapok hőstabilitására és rezgéscsillapítására vonatkozóan. A forgácsvizsgálat gyakran hosszú folyamatos mérést igényel, míg a műhelyekben enyhe hőmérséklet-ingadozások lépnek fel. A gránit ultra-alacsony hőtágulási együtthatója elnyomja a hőmérséklet-ingadozások által okozott referenciadeformációt. Mindeközben kiváló csillapítása elnyeli a nagy sebességű lineáris motormozgások során keletkező vibrációkat, megakadályozza a rezgés átvitelét az érzékelőszondákra, valamint stabilizálja az optikai képalkotást és a méretméréseket.
A félvezető berendezések különféle konfigurációkban kaphatók. A gránit alkatrészek a berendezés rajzai alapján{1}}egyedre készíthetők. Beágyazott T-nyílások, lég-csapágyfelületek és referenciasíkok állnak rendelkezésre az érzékelők felszereléséhez, hogy kielégítsék a portálos vizsgálóplatformok, az XY mozgási fokozatok és az ostyahordozó alapok szerkezeti igényeit. A megmunkálás után a gránit alkatrészek hosszú -feszültségmentesítő-öregedést, mikro-pórustömítést és precíziós metrológiai vizsgálatot végeznek. A geometriai tűréseket állandó-hőmérsékleten, rezgésekkel{11}}szigetelt metrológiai helyiségekben ellenőrzik, hogy garantálják a referenciapontosságot szállításkor, és ellenálljanak a deformációnak a hosszú távú{12}}szolgáltatás során.
Sok félvezető berendezések gyártója aggódik a tisztatereken belüli karbantartási munkaterhelés miatt. A fém alapok rendszeres rozsdaeltávolítást és bevonatfelújítást igényelnek, és az ilyen karbantartás során könnyen keletkezik por, amely veszélyezteti a tisztatéri besorolást. A gránit alkatrészek nem igényelnek időszakos korróziógátló-kezelést. A napi ápolás csak a felületek letörlését és a kisebb felgyülemlett por eltávolítását foglalja magában pormentes kendővel és speciális tisztítószerekkel. Az egyszerű karbantartási munkafolyamat megőrzi a tisztatér feltételeit és csökkenti az állásidő költségeit.
A mágneses interferencia, a részecskék szennyeződése és a referenciadeformáció kulcsfontosságú kockázatot jelentenek a precíziós félvezető-metrológiai alkalmazásokban, beleértve az ostya AOI vizuális ellenőrzését, az interferometriát és a kötés utólagos ellenőrzését. A PÉNZÜGYI gránit szerkezeti elemek a nem-mágneses, rozsda-mentes, alacsony-deformáció- és rezgéscsillapító- tulajdonságokat egyesítik, hogy illeszkedjenek a félvezető tisztaterek speciális működési feltételeihez. Stabil, tiszta és nem{7}}mágneses benchmark támogatást nyújtanak a különböző félvezető-ellenőrző berendezésekhez, és segítik a stabil és hatékony chipvizsgálati munkafolyamatokat.